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        電子特氣的凈化尤為重要

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        電子特氣的凈化尤為重要

        作者:山東言赫小編     發布時間:2018-12-12 09:23:12

            電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和關聯的太陽能電池等高科技產業,或用于薄膜堆積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、維護氣氛等等。因為半導體和微電子技能向更高功能、更高集成度開展,對電子特氣的純度提出了越來越高的需求,電子特氣的凈化尤為重要。

            目前國內的超高純度凈化技能首要依靠進口,本身的技能水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大距離。本項目將描繪和研制一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新式納米凈化劑,對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反響性氣體、腐蝕性氣體等5個系列,50多種電子特氣進行結尾凈化,使電子特氣純度由ppm級進步到ppb、ppt級,并將特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小,然后極大地改進工藝才能,下降產物缺點, 進步制程的產值,滿意下一代半導體、微電子以及關聯高技能開展的需求。本項目將構成有自主知識產權的超高純度電子特氣凈化技能,處理超高純度電子特氣凈化這一核心技能的國產化問題。 

            山東言赫專業經營淄博萬達利特種氣體公司生產的氯化氫氣體是在淄博齊魯石化工業園區注冊的高新科技企業,淄博萬達利直屬于北京華宇同方,主要從事新材料技術和化工新技術的研發,以及高新技術產品的生產和銷售。研發的沸石催化劑及其應用技術處于世界先進水平.生產的“華宇同方”牌高純氯化氫產品與國際知名品牌的性能相當,為半導體器件制造業、光伏產業和醫藥工業提供了充足的優質原材料。

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